超高壓緊湊型耐壓型高壓微流量自動(dòng)背壓閥

超高壓緊湊型耐壓型高壓微流量自動(dòng)背壓閥

1. 壓力規(guī)格
• 控制范圍：0.5–100 MPa（5 段量程彈簧可選，出廠標(biāo)定）
• 重復(fù)精度：≤ ±0.2 % F.S.（實(shí)測(cè) 70 MPa 點(diǎn) 10 萬次循環(huán)漂移＜0.05 MPa）
• 耐壓：150 MPa（閥體 316L 整體鍛打，無焊縫）
• 泄漏率：≤ 1×10?? Pa·m3/s（He 檢漏，金屬面密封）
2. 流量與介質(zhì)
• Cv 值：0.06 / 0.15 / 0.3 三檔閥芯可換，最小可控流量 5 mL/min
• 介質(zhì)：純水、DI-water、超臨界 CO?、氟化液、H?O?、IPA 等（接液 316L + PCTFE/PEEK 密封圈可選）
• 溫度：0–90 ℃（標(biāo)準(zhǔn) Viton），高溫型 150 ℃（全 PTFE 彈簧腔）
3. 驅(qū)動(dòng)與信號(hào)
• 電機(jī)：24 V DC 步進(jìn)電機(jī) + 滾珠絲杠，行程 8 mm，全行程時(shí)間 2 s
• 反饋：內(nèi)置 0–10 V 壓力傳感器（精度 ±0.1 %），同時(shí)輸出 4–20 mA & RS-485（Modbus RTU）
• 功耗：最大 18 W，穩(wěn)態(tài) 3 W，可 100 % 連續(xù)工作
4. 體積與安裝
• 本體：96 × 96 × 120 mm（不含接頭），重量 2.8 kg，面板或支架任意方向
• 接口：1/4" HP 錐螺紋（Swagelok 60°）或 9/16"-18 UNF 超高壓平口，可 360° 旋轉(zhuǎn)接管
• 防護(hù)：IP54 正面，電子腔灌膠，可在機(jī)臺(tái)內(nèi)部密集并排安裝，節(jié)省 50 % 以上空間
5. 典型用法
• 高壓計(jì)量泵后做“虛擬背壓"——替代傳統(tǒng)手調(diào)背壓閥 + 壓力表，閉環(huán)精度高 10 倍
• 單晶圓清洗機(jī)：100 MPa 微射流噴嘴前穩(wěn)壓，防止泵脈動(dòng)造成流量跳檔
• 超臨界 CO? 萃取：背壓 30–80 MPa 區(qū)間 0.1 MPa 步進(jìn)，提高萃取效率 15 %
• 高壓反應(yīng)釜：作為“泄壓/背壓"兩用，遠(yuǎn)程設(shè)定即可切換
6. 選型提示
• 若流量＞3 L/min 或管徑≥3/8"，請(qǐng)選 9230 系列（Cv 0.6，體積 120 mm）
• 若控制壓力＜15 MPa，可選 9210 經(jīng)濟(jì)型（體積 80 mm，無 RS-485）
• 需要防爆場(chǎng)合，廠家提供 9220-EX 型（ATEX II 2G Ex db IIB T4 Gb）

1. 壓力規(guī)格
• 控制范圍：0.5–100 MPa（5 段量程彈簧可選，出廠標(biāo)定）
• 重復(fù)精度：≤ ±0.2 % F.S.（實(shí)測(cè) 70 MPa 點(diǎn) 10 萬次循環(huán)漂移＜0.05 MPa）
• 耐壓：150 MPa（閥體 316L 整體鍛打，無焊縫）
• 泄漏率：≤ 1×10?? Pa·m3/s（He 檢漏，金屬面密封）
2. 流量與介質(zhì)
• Cv 值：0.06 / 0.15 / 0.3 三檔閥芯可換，最小可控流量 5 mL/min
• 介質(zhì)：純水、DI-water、超臨界 CO?、氟化液、H?O?、IPA 等（接液 316L + PCTFE/PEEK 密封圈可選）
• 溫度：0–90 ℃（標(biāo)準(zhǔn) Viton），高溫型 150 ℃（全 PTFE 彈簧腔）
3. 驅(qū)動(dòng)與信號(hào)
• 電機(jī)：24 V DC 步進(jìn)電機(jī) + 滾珠絲杠，行程 8 mm，全行程時(shí)間 2 s
• 反饋：內(nèi)置 0–10 V 壓力傳感器（精度 ±0.1 %），同時(shí)輸出 4–20 mA & RS-485（Modbus RTU）
• 功耗：最大 18 W，穩(wěn)態(tài) 3 W，可 100 % 連續(xù)工作
4. 體積與安裝
• 本體：96 × 96 × 120 mm（不含接頭），重量 2.8 kg，面板或支架任意方向
• 接口：1/4" HP 錐螺紋（Swagelok 60°）或 9/16"-18 UNF 超高壓平口，可 360° 旋轉(zhuǎn)接管
• 防護(hù)：IP54 正面，電子腔灌膠，可在機(jī)臺(tái)內(nèi)部密集并排安裝，節(jié)省 50 % 以上空間
5. 典型用法
• 高壓計(jì)量泵后做“虛擬背壓"——替代傳統(tǒng)手調(diào)背壓閥 + 壓力表，閉環(huán)精度高 10 倍
• 單晶圓清洗機(jī)：100 MPa 微射流噴嘴前穩(wěn)壓，防止泵脈動(dòng)造成流量跳檔
• 超臨界 CO? 萃?。罕硥?30–80 MPa 區(qū)間 0.1 MPa 步進(jìn)，提高萃取效率 15 %
• 高壓反應(yīng)釜：作為“泄壓/背壓"兩用，遠(yuǎn)程設(shè)定即可切換
6. 選型提示
• 若流量＞3 L/min 或管徑≥3/8"，請(qǐng)選 9230 系列（Cv 0.6，體積 120 mm）
• 若控制壓力＜15 MPa，可選 9210 經(jīng)濟(jì)型（體積 80 mm，無 RS-485）
• 需要防爆場(chǎng)合，廠家提供 9220-EX 型（ATEX II 2G Ex db IIB T4 Gb）