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產(chǎn)品資料
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超高真空切換高清潔型高精度大氣門閥

產(chǎn)品名稱: 超高真空切換高清潔型高精度大氣門閥
產(chǎn)品型號:
產(chǎn)品特點: 超高真空切換高清潔型高精度大氣門閥
高清潔 · 大氣門閥 · PVD/CVD/ALD/PECVD · 刻蝕 · 真空 ≤1×10?? Pa
0-180 °C · ±0.1 mm · 真空 ≤1×10?? Pa · 重量 2.1 kg · 5 年壽命

超高真空切換高清潔型高精度大氣門閥 的詳細介紹

超高真空切換高清潔型高精度大氣門閥
超高真空切換高清潔型高精度大氣門閥
高清潔 · 大氣門閥 · PVD/CVD/ALD/PECVD · 刻蝕 · 真空 ≤1×10?? Pa
0-180 °C · ±0.1 mm · 真空 ≤1×10?? Pa · 重量 2.1 kg · 5 年壽命

一、產(chǎn)品定位

  • 高清潔型:Class 100,無油、無顆粒,PVD/CVD/ALD/PECVD 兼容
  • 大氣門閥:大氣 ? 真空切換,刻蝕、沉積、離子注入
  • PVD/CVD/ALD/PECVD/刻蝕:真空 ≤1×10?? Pa,0-180 °C,±0.1 mm
  • VTEX 系列:0-180 °C,±0.1 mm,真空 ≤1×10?? Pa,5 年壽命

二、核心技術(shù)參數(shù)(VTEX 系列)

表格
復(fù)制
項目參數(shù)
類型高清潔型大氣門閥
真空度≤ 1×10?? Pa(全范圍)
溫度范圍0 – 180 °C(全范圍)
位置精度±0.1 mm(閉環(huán)控制)
潔凈等級Class 100(0.3 µm ≤ 100 pc/ft3)
接觸材料316L + PTFE + 藍寶石(密封)
真空接口NW16(可轉(zhuǎn) NW25/NW40)
電源DC 24 V 2 A(含 100-240 V 適配器)
尺寸/重量200×150×45 mm,2.1 kg
壽命5 年(連續(xù)運行)

三、功能亮點

  1. ≤ 1×10?? Pa 超高真空:全范圍真空兼容,PVD/CVD/ALD/PECVD 兼容
  2. 0-180 °C 全溫度:0-180 °C 全溫度,PVD/CVD/ALD/PECVD 兼容
  3. ±0.1 mm 高精度:閉環(huán)控制,±0.1 mm 高精度,晶圓級精度
  4. Class 100 高清潔:0.3 µm ≤ 100 pc/ft3,Class 100 高清潔
  5. 2.1 kg 超輕:A5 底面積,可手提移動,實驗室即用
  6. 5 年壽命:高清潔密封,5 年免維護

四、典型應(yīng)用系統(tǒng)

復(fù)制
半導(dǎo)體 PVD/CVD/ALD/PECVD┌─ 真空腔體 ─┐│               │閥← VTEX ← 真空饋通 NW16│               │└─ 回大氣 ────┘
  • 真空度 ≤ 1×10?? Pa,0-180 °C,±0.1 mm 精度
  • RS-485 實時輸出,PLC 閉環(huán)控制

五、實測數(shù)據(jù)(PVD/CVD/PECVD 驗證)

  • 真空:1×10?? Pa,25 ℃
  • VTEX:
    • 真空度 ≤ 1×10?? Pa(全范圍)
    • 溫度 180 °C(±0.1 mm)
    • 壽命 5 年(連續(xù)運行)

六、選型與配件

表格
復(fù)制
件號說明
VTEX-16NW16 標(biāo)準(zhǔn)型
VTEX-25NW25 大口徑型
VTEX-RS485RS-485 輸出(標(biāo)準(zhǔn))
VTEX-HEATER180 °C 加熱套件(可選)

七、維護與可靠性

  • 密封:5 年壽命,免維護
  • 真空饋通:每月清潔一次
  • 電源:年漂移 < 0.1 %,無需校準(zhǔn)
  • 整機 2 年質(zhì)保,10 年配件保障

八、結(jié)論

VTEX 高清潔型大氣門閥以「≤1×10?? Pa 超高真空 + 0-180 °C 全溫度 + ±0.1 mm 高精度 + Class 100 高清潔」四合一設(shè)計,讓半導(dǎo)體 PVD/CVD/ALD/PECVD/刻蝕獲得「高清潔、高精度、長壽命」大氣門閥,是大氣門閥的「半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)機」


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