低電導(dǎo)液體用超純水分支流量監(jiān)視流速計(jì)

低電導(dǎo)液體用超純水分支流量監(jiān)視流速計(jì)

日本東京計(jì)裝（TOKYO KEISO）FA-3000 系列是純水、超純水（UPW）等低電導(dǎo)液體的專(zhuān)用「流量監(jiān)測(cè)器／流量計(jì)」——不是普通電磁計(jì)，而是非接觸、無(wú)電極、渦旋脫落（Vortex Shedding）原理

? 1. 工作原理

流體通過(guò)鈍體（shedder bar）產(chǎn)生卡門(mén)渦街

采用壓電晶體傳感器檢測(cè)渦街頻率 → 頻率與流速成正比

無(wú)電極、非接觸測(cè)量，電導(dǎo)率下限可達(dá) 0.01 µS/cm（超純水級(jí)別）

輸出為脈沖或 4-20 mA，可接 DCS/PLC 做總量或流量控制

? 2. 型號(hào)體系

表格

復(fù)制

型號(hào)通徑流量范圍（純水）連接

FA-3001DN150.3 – 5 L/min1/2" SW / TC

FA-3002DN251 – 20 L/min3/4" SW / TC

FA-3003DN405 – 50 L/min1" SW / TC

FA-3004DN5010 – 100 L/min1-1/2" SW / TC

SW = Socket Weld；TC = Tri-Clamp（衛(wèi)生卡箍）

? 3. 接液材質(zhì)與潔凈設(shè)計(jì)

本體：PFA 內(nèi)襯 + 不銹鋼 316L 外殼（電解拋光 Ra ≤ 0.4 µm）

** Shedder bar：PFA 包覆陶瓷，無(wú)金屬裸露**

傳感器：壓電陶瓷片，全樹(shù)脂封裝，無(wú)電極、無(wú)密封圈

潔凈清洗：出廠(chǎng)去離子水 > 18 MΩ·cm 沖洗 + 氮?dú)夂娓?，Class 100 包裝

無(wú)潤(rùn)滑油：磁力耦合傳動(dòng)，零油脂污染

? 4. 輸出與電源

表格

復(fù)制

項(xiàng)目規(guī)格

電源DC 24 V ±10 %，< 0.2 W

輸出脈沖（集電極開(kāi)路，Max 30 V/20 mA）

4-20 mA（兩線(xiàn)制，負(fù)載 ≤ 500 Ω）

通訊可選 RS-485 Modbus RTU

溫度/壓力0 – 80 °C，Max 1.0 MPa

防護(hù)IP65，可定制 IP68 潛水型

? 5. 典型應(yīng)用點(diǎn)

半導(dǎo)體 FAB UPW 主管道 → 機(jī)臺(tái)分支流量報(bào)警

面板廠(chǎng) 顯影液/漂洗水 流量監(jiān)視

制藥 WFI 循環(huán)系統(tǒng) 支路流量平衡

電廠(chǎng) 精處理混床出口 低流量保護(hù)

實(shí)驗(yàn)室 18 MΩ 超純水機(jī) 取水計(jì)量

日本東京計(jì)裝（TOKYO KEISO）FA-3000 系列是純水、超純水（UPW）等低電導(dǎo)液體的專(zhuān)用「流量監(jiān)測(cè)器／流量計(jì)」——不是普通電磁計(jì)，而是非接觸、無(wú)電極、渦旋脫落（Vortex Shedding）

? 1. 工作原理

流體通過(guò)鈍體（shedder bar）產(chǎn)生卡門(mén)渦街

采用壓電晶體傳感器檢測(cè)渦街頻率 → 頻率與流速成正比

無(wú)電極、非接觸測(cè)量，電導(dǎo)率下限可達(dá) 0.01 µS/cm（超純水級(jí)別）

輸出為脈沖或 4-20 mA，可接 DCS/PLC 做總量或流量控制

? 2. 型號(hào)體系

表格

復(fù)制

型號(hào)通徑流量范圍（純水）連接

FA-3001DN150.3 – 5 L/min1/2" SW / TC

FA-3002DN251 – 20 L/min3/4" SW / TC

FA-3003DN405 – 50 L/min1" SW / TC

FA-3004DN5010 – 100 L/min1-1/2" SW / TC

SW = Socket Weld；TC = Tri-Clamp（衛(wèi)生卡箍）

? 3. 接液材質(zhì)與潔凈設(shè)計(jì)

本體：PFA 內(nèi)襯 + 不銹鋼 316L 外殼（電解拋光 Ra ≤ 0.4 µm）

** Shedder bar：PFA 包覆陶瓷，無(wú)金屬裸露**

傳感器：壓電陶瓷片，全樹(shù)脂封裝，無(wú)電極、無(wú)密封圈

潔凈清洗：出廠(chǎng)去離子水 > 18 MΩ·cm 沖洗 + 氮?dú)夂娓?，Class 100 包裝

無(wú)潤(rùn)滑油：磁力耦合傳動(dòng)，零油脂污染

? 4. 輸出與電源

表格

復(fù)制

項(xiàng)目規(guī)格

電源DC 24 V ±10 %，< 0.2 W

輸出脈沖（集電極開(kāi)路，Max 30 V/20 mA）

4-20 mA（兩線(xiàn)制，負(fù)載 ≤ 500 Ω）

通訊可選 RS-485 Modbus RTU

溫度/壓力0 – 80 °C，Max 1.0 MPa

防護(hù)IP65，可定制 IP68 潛水型

? 5. 典型應(yīng)用點(diǎn)

半導(dǎo)體 FAB UPW 主管道 → 機(jī)臺(tái)分支流量報(bào)警

面板廠(chǎng) 顯影液/漂洗水 流量監(jiān)視

制藥 WFI 循環(huán)系統(tǒng) 支路流量平衡

電廠(chǎng) 精處理混床出口 低流量保護(hù)

實(shí)驗(yàn)室 18 MΩ 超純水機(jī) 取水計(jì)量