半導(dǎo)體廠多路 ppb 連續(xù)監(jiān)視氣體檢測儀

半導(dǎo)體廠多路 ppb 連續(xù)監(jiān)視氣體檢測儀

1 臺主機多可掛載 5 個不同氣體傳感器頭（半導(dǎo)體級）通過電磁閥自動循環(huán)切換，實現(xiàn) 多路 / 多點 / 多氣體 連續(xù)監(jiān)視目標(biāo)：SiH?、PH?、AsH?、B?H?、H?Se、HCl、Cl?、NH?、HF 等 ppb 級毒性氣體適用于 晶圓廠 Gas Box、Y-Piece、閥門分配箱（VMB） 及 CVD / 刻蝕 / 離子注入工藝段

• 檢測原理：
• 電化學(xué)式（EC）：SiH?、PH?、AsH?、B?H?、H?Se、HCl、Cl?、NH?、HF
• 半導(dǎo)體式（SC）：H?（0–1000 ppm，用于泄漏背景補償）
• 檢測范圍（示例）：
  SiH? 0–500 ppb / 1 ppb 分辨率
  PH? 0–200 ppb / 1 ppb
  AsH? 0–100 ppb / 0.5 ppb
  HCl 0–5 ppm / 10 ppb
• 響應(yīng)時間 T90：≤ 30 s（采樣距離 10 m 以內(nèi)）
• 報警輸出：
  獨立 3 段（HIGH / HIGH HIGH / STEL-TWA），繼電器 1 A×3，可聯(lián)鎖 Shut-valve
• 自我診斷：傳感器斷線、流量低、閥門異常、泵壽命倒計時
• 校準(zhǔn)：內(nèi)置電磁閥切換零氣 / 量程氣，無需拆頭，30 s 完成兩點校準(zhǔn)
• 防護：IP65，Ex db eb ib IIC T4（可選氫氣防爆）
• 電源：DC 24 V ±10 %，功耗 15 W（泵 + 閥）
• 尺寸／重量：XPS-7  194 W×240 H×95 D mm，2.8 kg

• 檢測原理：
• 電化學(xué)式（EC）：SiH?、PH?、AsH?、B?H?、H?Se、HCl、Cl?、NH?、HF
• 半導(dǎo)體式（SC）：H?（0–1000 ppm，用于泄漏背景補償）
• 檢測范圍（示例）：
  SiH? 0–500 ppb / 1 ppb 分辨率
  PH? 0–200 ppb / 1 ppb
  AsH? 0–100 ppb / 0.5 ppb
  HCl 0–5 ppm / 10 ppb
• 響應(yīng)時間 T90：≤ 30 s（采樣距離 10 m 以內(nèi)）
• 報警輸出：
  獨立 3 段（HIGH / HIGH HIGH / STEL-TWA），繼電器 1 A×3，可聯(lián)鎖 Shut-valve
• 自我診斷：傳感器斷線、流量低、閥門異常、泵壽命倒計時
• 校準(zhǔn)：內(nèi)置電磁閥切換零氣 / 量程氣，無需拆頭，30 s 完成兩點校準(zhǔn)
• 防護：IP65，Ex db eb ib IIC T4（可選氫氣防爆）
• 電源：DC 24 V ±10 %，功耗 15 W（泵 + 閥）
• 尺寸／重量：XPS-7  194 W×240 H×95 D mm，2.8 kg