產(chǎn)品資料
半導體領(lǐng)域在線高精度測量高純制藥液加熱器
產(chǎn)品名稱: 半導體領(lǐng)域在線高精度測量高純制藥液加熱器
產(chǎn)品型號: ECN型
產(chǎn)品特點: 半導體領(lǐng)域在線高精度測量高純制藥液加熱器半導體清洗裝置在線用高純度制藥液加熱器在線 · 高純度 · 制藥液 · 加熱器 · PFA/PTFE流路0-180℃ · ±0.1K · 真空≤1×10??Pa · 5-500mL/min · 5年壽命
半導體領(lǐng)域在線高精度測量高純制藥液加熱器 的詳細介紹
半導體領(lǐng)域在線高精度測量高純制藥液加熱器
半導體領(lǐng)域在線高精度測量高純制藥液加熱器
半導體清洗裝置在線用高純度制藥液加熱器
在線 · 高純度 · 制藥液 · 加熱器 · PFA/PTFE流路
0-180℃ · ±0.1K · 真空≤1×10??Pa · 5-500mL/min · 5年壽命
一、產(chǎn)品定位
- 半導體清洗裝置在線用：單片清洗、CMP后清洗、藥液預(yù)熱
- 高純度制藥液加熱器：HF/H?SO?/NH?OH/有機溶劑，PFA/PTFE全流路
- 在線加熱：5-500mL/min，0-180℃，±0.1K，真空≤1×10??Pa
- ECN型：PFA/PTFE，在線，高純度，5年壽命
二、核心技術(shù)參數(shù)（ECN型）
| 項目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 流路材質(zhì) | PFA + PTFE（高純度，無顆粒） |
| 溫度范圍 | 0 – 180 ℃（全范圍） |
| 精度 | ±0.1 K（±0.1 K，PID） |
| 真空度 | ≤ 1×10?? Pa（真空版） |
| 流量范圍 | 5 – 500 mL/min（全范圍） |
| 潔凈等級 | Class 100（0.3 µm ≤ 100 pc/ft3） |
| 真空接口 | NW16（可轉(zhuǎn) NW25/NW40） |
| 電源 | DC 24 V 2 A（含 100-240 V 適配器） |
| 尺寸/重量 | 200×150×45 mm，1.9 kg |
| 壽命 | 5 年（連續(xù)運行） |
三、功能亮點
- PFA/PTFE 高純流路：無顆粒，Class 100，無金屬離子溶出
- 0-180 ℃ 全溫度：PID閉環(huán)，±0.1 K，藥液溫度微變實時捕捉
- ≤1×10?? Pa 真空兼容：真空腔直接安裝，無泄漏
- 5-500 mL/min 寬流量：單片清洗 20 mL/min，CMP 400 mL/min，一臺覆蓋
- 1.9 kg 超輕：A5底面積，可手提移動，通風櫥內(nèi)即用
半導體清洗裝置在線用高純度制藥液加熱器
在線 · 高純度 · 制藥液 · 加熱器 · PFA/PTFE流路
0-180℃ · ±0.1K · 真空≤1×10??Pa · 5-500mL/min · 5年壽命
一、產(chǎn)品定位
- 半導體清洗裝置在線用：單片清洗、CMP后清洗、藥液預(yù)熱
- 高純度制藥液加熱器：HF/H?SO?/NH?OH/有機溶劑，PFA/PTFE全流路
- 在線加熱：5-500mL/min，0-180℃，±0.1K，真空≤1×10??Pa
- ECN型：PFA/PTFE，在線，高純度，5年壽命
二、核心技術(shù)參數(shù)（ECN型）
| 項目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 流路材質(zhì) | PFA + PTFE（高純度，無顆粒） |
| 溫度范圍 | 0 – 180 ℃（全范圍） |
| 精度 | ±0.1 K（±0.1 K，PID） |
| 真空度 | ≤ 1×10?? Pa（真空版） |
| 流量范圍 | 5 – 500 mL/min（全范圍） |
| 潔凈等級 | Class 100（0.3 µm ≤ 100 pc/ft3） |
| 真空接口 | NW16（可轉(zhuǎn) NW25/NW40） |
| 電源 | DC 24 V 2 A（含 100-240 V 適配器） |
| 尺寸/重量 | 200×150×45 mm，1.9 kg |
| 壽命 | 5 年（連續(xù)運行） |
三、功能亮點
- PFA/PTFE 高純流路：無顆粒，Class 100，無金屬離子溶出
- 0-180 ℃ 全溫度：PID閉環(huán)，±0.1 K，藥液溫度微變實時捕捉
- ≤1×10?? Pa 真空兼容：真空腔直接安裝，無泄漏
- 5-500 mL/min 寬流量：單片清洗 20 mL/min，CMP 400 mL/min，一臺覆蓋
- 1.9 kg 超輕：A5底面積，可手提移動，通風櫥內(nèi)即用
產(chǎn)品目錄
-
機械設(shè)備
- 磁選機
- 純水器
- 超聲波清洗器
- 壓力傳感器
- 流量控制器
- 乳缽機
- 水準儀
- 變送器
- 臭氧檢測儀
- 色譜儀
- 拋光機
- 加熱器
- 張力計
- 混凝土檢測儀
- 加熱板
- 儲藏
- 壓力機
- 熱壓機
- 破碎機
- 振蕩器
- 電爐
- 分散機
- 切割機
- 往復(fù)泵
- 攪拌
- 色選機
- 擂潰
- 臭氧發(fā)生器
- 氣體發(fā)生器
- 混合器
- 移液器
- 高速相機
- 涂布機
- 鍍膜機
- 試驗機
- 球磨機
- 均質(zhì)機
- 脫泡機
- 點焊機
- 干燥機
- 研磨機
- 密度儀
- 擂搗機
- 混合設(shè)備
- 除鐵機
- 電子
- 填充頭
- 裝置
- 點膠筆
- 傳感器
- 冷卻器
- 機器
- 壓鑄機
- 氧氣監(jiān)視器
- 系統(tǒng)
- 粉碎機
- 輪廓儀
- 測量針
- 過濾器
- 比色計
- 亮度計
- 噴霧干燥機
- 真空加熱裝置
- 蒸發(fā)器
- 化學合成反應(yīng)裝置
- 溫度濕度計
- 真空泵
- 循環(huán)排水器
- 化學反應(yīng)裝置
- 工業(yè)設(shè)備
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地址：深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路和健云谷2棟B座1002
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