產(chǎn)品資料
半導(dǎo)體制造裝置用小型潔凈集塵機(jī)
產(chǎn)品名稱(chēng): 半導(dǎo)體制造裝置用小型潔凈集塵機(jī)
產(chǎn)品型號(hào): TDC-1006-3/H- DX系列
產(chǎn)品特點(diǎn): 半導(dǎo)體制造裝置用小型潔凈集塵機(jī)小型 · 高負(fù)壓 · 干式 · HEPA · 半導(dǎo)體潔凈兼容0.6 kW · 100 m³/h · -18 kPa · 0.3 µm 99.97 % · 重量 46 kg
半導(dǎo)體制造裝置用小型潔凈集塵機(jī) 的詳細(xì)介紹
半導(dǎo)體制造裝置用小型潔凈集塵機(jī)
半導(dǎo)體制造裝置用小型潔凈集塵機(jī)
小型 · 高負(fù)壓 · 干式 · HEPA · 半導(dǎo)體潔凈兼容
0.6 kW · 100 m3/h · -18 kPa · 0.3 µm 99.97 % · 重量 46 kg
一、產(chǎn)品定位
- 半導(dǎo)體制造裝置用：?jiǎn)纹逑?、CMP、干刻、離子注入粉塵收集
- 小型集塵機(jī)：0.6 kW，100 m3/h，-18 kPa，底面積 A4 紙
- 干式 HEPA：0.3 µm 99.97 %，Class 100 兼容，無(wú)油污染
- TDC-1006-3/H-DX：0.6 kW，100 m3/h，-18 kPa，HEPA 99.97 %
二、核心技術(shù)參數(shù)（TDC-1006-3/H-DX）
| 項(xiàng)目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 類(lèi)型 | 干式高負(fù)壓集塵機(jī) |
| 風(fēng)量 | 100 m3/h（@ -18 kPa） |
| 負(fù)壓 | -18 kPa（-180 mbar） |
| 功率 | 0.6 kW（單相 200 V） |
| 過(guò)濾效率 | 99.97 %（0.3 µm HEPA） |
| 潔凈等級(jí) | Class 100（0.3 µm ≤ 100 pc/ft3） |
| 粉塵容量 | 6 L（可更換） |
| 噪聲 | ≤ 58 dB(A) @ 1 m（空冷） |
| 接口 | Φ50 mm 快插（可轉(zhuǎn) NW40） |
| 尺寸/重量 | 400×300×400 mm，46 kg |
| 壽命 | 20,000 h（連續(xù)運(yùn)行） |
三、功能亮點(diǎn)
- 0.6 kW 小型：A4 底面積，放實(shí)驗(yàn)臺(tái)，無(wú)需地基
- -18 kPa 高負(fù)壓：比同級(jí)集塵機(jī)負(fù)壓高 50 %，適合高負(fù)壓吸塵
- 0.3 µm 99.97 % HEPA：Class 100 兼容，無(wú)油污染
- 6 L 大容量：6 L 粉塵桶，30 s 快換，無(wú)粉塵飛揚(yáng)
- 58 dB 靜音：空冷無(wú)冷卻水，24 h 運(yùn)行不擾人
- Class 100 潔凈：0.3 µm ≤ 100 pc/ft3，半導(dǎo)體潔凈兼容
四、典型應(yīng)用系統(tǒng)
半導(dǎo)體單片清洗粉塵收集┌─ 清洗腔體 ─┐│ │粉塵← TDC-1006 ← 真空饋通 Φ50│ │└─ 回大氣 ────┘- 高負(fù)壓 -18 kPa，0.3 µm 粉塵 99.97 % 捕集
- 6 L 粉塵桶，30 s 快換，無(wú)粉塵飛揚(yáng)
五、實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)（半導(dǎo)體驗(yàn)證）
- 粉塵：0.3 µm SiO?，濃度 10 mg/m3
- TDC-1006-3/H-DX：
- 過(guò)濾效率 99.97 %（0.3 µm）
- 負(fù)壓 -18 kPa（穩(wěn)定）
- 噪聲 58 dB（比冰箱低）
六、選型與配件
| 件號(hào) | 說(shuō)明 |
|---|---|
| TDC-1006-3/H-DX | 0.6 kW 標(biāo)準(zhǔn)型 |
| TDC-1006-H-HEPA | HEPA 99.97 % 套件 |
| TDC-1006-NW40 | NW40 快接法蘭套件 |
| TDC-1006-APP | 云端 APP 遠(yuǎn)程監(jiān)控 |
七、維護(hù)與可靠性
- HEPA：每 6 個(gè)月更換一次
- 粉塵桶：每月清理一次
- 電機(jī)：年漂移 < 0.1 %，無(wú)需校準(zhǔn)
- 整機(jī) 2 年質(zhì)保，10 年配件保障
八、結(jié)論
Tohin TDC-1006-3/H-DX 以「0.6 kW 小型 + -18 kPa 高負(fù)壓 + 0.3 µm 99.97 % HEPA + Class 100 潔凈」四合一設(shè)計(jì)，讓半導(dǎo)體制造裝置獲得「小型、高負(fù)壓、潔凈」集塵，是小型集塵機(jī)的「半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)機(jī)」
小型 · 高負(fù)壓 · 干式 · HEPA · 半導(dǎo)體潔凈兼容
0.6 kW · 100 m3/h · -18 kPa · 0.3 µm 99.97 % · 重量 46 kg
一、產(chǎn)品定位
- 半導(dǎo)體制造裝置用：?jiǎn)纹逑?、CMP、干刻、離子注入粉塵收集
- 小型集塵機(jī)：0.6 kW，100 m3/h，-18 kPa，底面積 A4 紙
- 干式 HEPA：0.3 µm 99.97 %，Class 100 兼容，無(wú)油污染
- TDC-1006-3/H-DX：0.6 kW，100 m3/h，-18 kPa，HEPA 99.97 %
二、核心技術(shù)參數(shù)（TDC-1006-3/H-DX）
| 項(xiàng)目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 類(lèi)型 | 干式高負(fù)壓集塵機(jī) |
| 風(fēng)量 | 100 m3/h（@ -18 kPa） |
| 負(fù)壓 | -18 kPa（-180 mbar） |
| 功率 | 0.6 kW（單相 200 V） |
| 過(guò)濾效率 | 99.97 %（0.3 µm HEPA） |
| 潔凈等級(jí) | Class 100（0.3 µm ≤ 100 pc/ft3） |
| 粉塵容量 | 6 L（可更換） |
| 噪聲 | ≤ 58 dB(A) @ 1 m（空冷） |
| 接口 | Φ50 mm 快插（可轉(zhuǎn) NW40） |
| 尺寸/重量 | 400×300×400 mm，46 kg |
| 壽命 | 20,000 h（連續(xù)運(yùn)行） |
三、功能亮點(diǎn)
- 0.6 kW 小型：A4 底面積，放實(shí)驗(yàn)臺(tái)，無(wú)需地基
- -18 kPa 高負(fù)壓：比同級(jí)集塵機(jī)負(fù)壓高 50 %，適合高負(fù)壓吸塵
- 0.3 µm 99.97 % HEPA：Class 100 兼容，無(wú)油污染
- 6 L 大容量：6 L 粉塵桶，30 s 快換，無(wú)粉塵飛揚(yáng)
- 58 dB 靜音：空冷無(wú)冷卻水，24 h 運(yùn)行不擾人
- Class 100 潔凈：0.3 µm ≤ 100 pc/ft3，半導(dǎo)體潔凈兼容
四、典型應(yīng)用系統(tǒng)
半導(dǎo)體單片清洗粉塵收集┌─ 清洗腔體 ─┐│ │粉塵← TDC-1006 ← 真空饋通 Φ50│ │└─ 回大氣 ────┘- 高負(fù)壓 -18 kPa，0.3 µm 粉塵 99.97 % 捕集
- 6 L 粉塵桶，30 s 快換，無(wú)粉塵飛揚(yáng)
五、實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)（半導(dǎo)體驗(yàn)證）
- 粉塵：0.3 µm SiO?，濃度 10 mg/m3
- TDC-1006-3/H-DX：
- 過(guò)濾效率 99.97 %（0.3 µm）
- 負(fù)壓 -18 kPa（穩(wěn)定）
- 噪聲 58 dB（比冰箱低）
六、選型與配件
| 件號(hào) | 說(shuō)明 |
|---|---|
| TDC-1006-3/H-DX | 0.6 kW 標(biāo)準(zhǔn)型 |
| TDC-1006-H-HEPA | HEPA 99.97 % 套件 |
| TDC-1006-NW40 | NW40 快接法蘭套件 |
| TDC-1006-APP | 云端 APP 遠(yuǎn)程監(jiān)控 |
七、維護(hù)與可靠性
- HEPA：每 6 個(gè)月更換一次
- 粉塵桶：每月清理一次
- 電機(jī)：年漂移 < 0.1 %，無(wú)需校準(zhǔn)
- 整機(jī) 2 年質(zhì)保，10 年配件保障
八、結(jié)論
Tohin TDC-1006-3/H-DX 以「0.6 kW 小型 + -18 kPa 高負(fù)壓 + 0.3 µm 99.97 % HEPA + Class 100 潔凈」四合一設(shè)計(jì)，讓半導(dǎo)體制造裝置獲得「小型、高負(fù)壓、潔凈」集塵，是小型集塵機(jī)的「半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)機(jī)」
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