半導(dǎo)體行業(yè)用單片流量控制高精度旋轉(zhuǎn)接頭

產(chǎn)品名稱: 半導(dǎo)體行業(yè)用單片流量控制高精度旋轉(zhuǎn)接頭

產(chǎn)品型號(hào): MFC型

產(chǎn)品特點(diǎn): 半導(dǎo)體行業(yè)用單片流量控制高精度旋轉(zhuǎn)接頭
旋轉(zhuǎn)接頭間隙密封 MFC 型
單片式清洗 · 間隙密封 · MFC 流量控制 · 真空兼容
單片傳送 · 間隙 1-5 µm · 真空 ≤ 1×10?? Pa · 重量 0.8 kg

半導(dǎo)體行業(yè)用單片流量控制高精度旋轉(zhuǎn)接頭 的詳細(xì)介紹

半導(dǎo)體行業(yè)用單片流量控制高精度旋轉(zhuǎn)接頭

旋轉(zhuǎn)接頭間隙密封 MFC 型

單片式清洗 · 間隙密封 · MFC 流量控制 · 真空兼容
單片傳送 · 間隙 1-5 µm · 真空 ≤ 1×10?? Pa · 重量 0.8 kg

一、產(chǎn)品定位

單片式清洗：單片傳送、單片蝕刻、單片 CMP 后清洗
間隙密封：1-5 µm 間隙，無接觸密封，顆粒生成 < 1 pc/片
MFC 流量控制：內(nèi)置 MFC，0.1-10 L/min，±1 % FS
真空兼容：真空 ≤ 1×10?? Pa，Class 100 兼容

二、核心技術(shù)參數(shù)（MFC 型）

表格

復(fù)制

項(xiàng)目	參數(shù)
原理	間隙密封 + MFC 流量控制
間隙寬度	1-5 µm（無接觸密封）
流量范圍	0.1 – 10 L/min（±1 % FS）
真空度	≤ 1×10?? Pa（真空版）
顆粒生成	< 1 pc/片（0.3 µm 以上）
接觸材料	316L + PTFE + 藍(lán)寶石（軸承）
溫度范圍	-20 – 120 ℃（短時(shí) 150 ℃）
接口	1/4-28 UNF（真空饋通）
電源	DC 24 V 1 A（含 MFC 驅(qū)動(dòng)器）
尺寸/重量	Φ25×70 mm，0.8 kg
壽命	20,000 h（連續(xù)運(yùn)行）

三、功能亮點(diǎn)

1-5 µm 間隙密封：無接觸密封，顆粒生成 < 1 pc/片
0.1-10 L/min MFC：內(nèi)置 MFC，±1 % FS，單片流量精確控制
≤ 1×10?? Pa 真空兼容：Class 100 兼容，無油污染
0.8 kg 超輕：可直接貼腔體，不增加機(jī)械負(fù)載
20,000 h 壽命：間隙密封無磨損，連續(xù)運(yùn)行 20,000 h
單片式清洗：單片傳送、單片蝕刻、單片 CMP 后清洗

旋轉(zhuǎn)接頭間隙密封 MFC 型

單片式清洗 · 間隙密封 · MFC 流量控制 · 真空兼容
單片傳送 · 間隙 1-5 µm · 真空 ≤ 1×10?? Pa · 重量 0.8 kg

一、產(chǎn)品定位

單片式清洗：單片傳送、單片蝕刻、單片 CMP 后清洗
間隙密封：1-5 µm 間隙，無接觸密封，顆粒生成 < 1 pc/片
MFC 流量控制：內(nèi)置 MFC，0.1-10 L/min，±1 % FS
真空兼容：真空 ≤ 1×10?? Pa，Class 100 兼容

二、核心技術(shù)參數(shù)（MFC 型）

表格

復(fù)制

項(xiàng)目	參數(shù)
原理	間隙密封 + MFC 流量控制
間隙寬度	1-5 µm（無接觸密封）
流量范圍	0.1 – 10 L/min（±1 % FS）
真空度	≤ 1×10?? Pa（真空版）
顆粒生成	< 1 pc/片（0.3 µm 以上）
接觸材料	316L + PTFE + 藍(lán)寶石（軸承）
溫度范圍	-20 – 120 ℃（短時(shí) 150 ℃）
接口	1/4-28 UNF（真空饋通）
電源	DC 24 V 1 A（含 MFC 驅(qū)動(dòng)器）
尺寸/重量	Φ25×70 mm，0.8 kg
壽命	20,000 h（連續(xù)運(yùn)行）