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產品資料
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腐蝕性氣體測量高速響應小型CRDS微量水分計

產品名稱: 腐蝕性氣體測量高速響應小型CRDS微量水分計
產品型號: CRDS型
產品特點: 腐蝕性氣體測量高速響應小型CRDS微量水分計
高精度測量
寬量程:可測量12 ppbv至20 ppmv(-100至-55℃露點)的微量水分。
高精度:系統(tǒng)精度為±4%或±12 ppbv,以較大值為準。

腐蝕性氣體測量高速響應小型CRDS微量水分計 的詳細介紹

腐蝕性氣體測量高速響應小型CRDS微量水分計

腐蝕性氣體測量高速響應小型CRDS微量水分計

高精度測量

  • 寬量程:可測量12 ppbv至20 ppmv(-100至-55℃露點)的微量水分。
  • 高精度:系統(tǒng)精度為±4%或±12 ppbv,以較大值為準。

高速響應

  • 快速響應:對于50 ppbv至1000 ppbv的水分變化,響應時間約60秒(90%響應)。

長期穩(wěn)定性與耐腐蝕性

  • 耐腐蝕性:傳感器部分采用耐腐蝕材料,適合測量腐蝕性氣體。
  • 長期穩(wěn)定性:采用CRDS技術,不依賴激光功率,具有長期測量可靠性。

小型化與便攜性

  • 小型設計:檢測部(腔)小型化,便于攜帶和安裝。
  • 分離式設計:傳感器部分和監(jiān)測部分可分離,便于遠程監(jiān)控和靈活安裝。

測量原理

  • CRDS技術:基于光腔衰蕩光譜法(CRDS),通過測量光在腔內的衰減時間來直接計算水分含量。

應用場景

  • 半導體行業(yè):適用于半導體制造中的高純氣體微量水分測量。
  • 其他工業(yè)應用:還可用于鋰離子電池、全固態(tài)電池、雙電層電容器、有機電致發(fā)光、平板顯示器等領域的微量水分測量。

技術參數

  • 樣氣溫度:5至60℃。
  • 樣氣流量:<2.0 L/min。
  • 樣氣壓力:86至106 kPaA。
  • 輸出功能:支持4-20mA、0-5VDC的模擬輸出,以及RS-232C的數字輸出。
  • 電源:AC適配器(100-240V,50/60Hz,最大1.4A)。
  • 尺寸與重量:傳感器部分約5kg,監(jiān)測部分約1.7kg。

用戶友好設計

  • LCD顯示屏:配備LCD顯示屏,操作界面友好,易于使用。
  • 靈活安裝:支持多種安裝方式,包括臺式、壁掛式。
該設備以其高精度、快速響應、小型化設計和長期穩(wěn)定性,成為半導體高純氣體微量水分測量的理想選擇。

高精度測量

  • 寬量程:可測量12 ppbv至20 ppmv(-100至-55℃露點)的微量水分
  • 高精度:系統(tǒng)精度為±4%或±12 ppbv,以較大值為準
    。

高速響應

  • 快速響應:對于50 ppbv至1000 ppbv的水分變化,響應時間約60秒(90%響應)
    。

長期穩(wěn)定性與耐腐蝕性

  • 耐腐蝕性:傳感器部分采用耐腐蝕材料,適合測量腐蝕性氣體
    。
  • 長期穩(wěn)定性:采用CRDS技術,不依賴激光功率,具有長期測量可靠性
    。

小型化與便攜性

  • 小型設計:檢測部(腔)小型化,便于攜帶和安裝
    。
  • 分離式設計:傳感器部分和監(jiān)測部分可分離,便于遠程監(jiān)控和靈活安裝

測量原理

  • CRDS技術:基于光腔衰蕩光譜法(CRDS),通過測量光在腔內的衰減時間來直接計算水分含量

應用場景

  • 半導體行業(yè):適用于半導體制造中的高純氣體微量水分測量
    。
  • 其他工業(yè)應用:還可用于鋰離子電池、全固態(tài)電池、雙電層電容器、有機電致發(fā)光、平板顯示器等領域的微量水分測量
    。

技術參數

  • 樣氣溫度:5至60℃
    。
  • 樣氣流量:<2.0 L/min
  • 樣氣壓力:86至106 kPaA
    。
  • 輸出功能:支持4-20mA、0-5VDC的模擬輸出,以及RS-232C的數字輸出
  • 電源:AC適配器(100-240V,50/60Hz,最大1.4A)
    。
  • 尺寸與重量:傳感器部分約5kg,監(jiān)測部分約1.7kg
    。

用戶友好設計

  • LCD顯示屏:配備LCD顯示屏,操作界面友好,易于使用
    。
  • 靈活安裝:支持多種安裝方式,包括臺式、壁掛式
    。
該設備以其高精度、快速響應、小型化設計和長期穩(wěn)定性,成為半導體高純氣體微量水分測量的理想選擇。


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