半導(dǎo)體制造用PFA制小型卡曼渦流流量計(jì)半導(dǎo)體制造用PFA制小型卡曼渦流流量計(jì)

1. 結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單：流路中只有渦流發(fā)生器和渦流檢測(cè)器，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，壓力損失小，不易漏液。
2. 檢測(cè)器不與液體相接：因此適合用于各種液體工藝流程的監(jiān)控，機(jī)身材質(zhì)采用PFA，無(wú)粒子。
3. 適用于全球規(guī)格：獲得CE標(biāo)志認(rèn)證。
4. 接液部分采用聚四氟乙烯材質(zhì)：無(wú)O環(huán)，適合用于半導(dǎo)體工藝流程中液體流量的監(jiān)控。
5. 可靠性、耐用性良好：沒(méi)有可移動(dòng)部分，不會(huì)因安裝姿勢(shì)而產(chǎn)生誤差。
6. 內(nèi)置溫度傳感器：在有液體通過(guò)時(shí)，實(shí)現(xiàn)了液體溫度的可監(jiān)測(cè)性，通過(guò)溫度補(bǔ)償減少了因液溫變化而產(chǎn)生的精度誤差。
7. 防水性相當(dāng)于IP 65等級(jí)：電源為12-24VDC單電源驅(qū)動(dòng)。

1. 結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單：流路中只有渦流發(fā)生器和渦流檢測(cè)器，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，壓力損失小，不易漏液。
2. 檢測(cè)器不與液體相接：因此適合用于各種液體工藝流程的監(jiān)控，機(jī)身材質(zhì)采用PFA，無(wú)粒子

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3. 適用于全球規(guī)格：獲得CE標(biāo)志認(rèn)證。
4. 接液部分采用聚四氟乙烯材質(zhì)：無(wú)O環(huán)，適合用于半導(dǎo)體工藝流程中液體流量的監(jiān)控

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5. 可靠性、耐用性良好：沒(méi)有可移動(dòng)部分，不會(huì)因安裝姿勢(shì)而產(chǎn)生誤差。
6. 內(nèi)置溫度傳感器：在有液體通過(guò)時(shí)，實(shí)現(xiàn)了液體溫度的可監(jiān)測(cè)性，通過(guò)溫度補(bǔ)償減少了因液溫變化而產(chǎn)生的精度誤差

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7. 防水性相當(dāng)于IP 65等級(jí)：電源為12-24VDC單電源驅(qū)動(dòng)

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