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產(chǎn)品資料
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日本horiba懸掛式非接觸輻射溫度計(jì)

產(chǎn)品名稱: 日本horiba懸掛式非接觸輻射溫度計(jì)
產(chǎn)品型號: IT-470F-H
產(chǎn)品特點(diǎn): 日本horiba懸掛式非接觸輻射溫度計(jì)IT-470F-H
總覽
配備了內(nèi)部開發(fā)的高靈敏度熱電堆傳感器,它是行業(yè)*的高精度設(shè)備安裝式輻射溫度計(jì),通過結(jié)合多年開發(fā)的輻射溫度計(jì)技術(shù)而實(shí)現(xiàn)。
它有助于提高需要高精度溫度測量的領(lǐng)域的過程穩(wěn)定性,例如半導(dǎo)體和FPD制造。

日本horiba懸掛式非接觸輻射溫度計(jì) 的詳細(xì)介紹

日本horiba懸掛式非接觸輻射溫度計(jì)IT-470F-H

 

總覽

配備了內(nèi)部開發(fā)的高靈敏度熱電堆傳感器,它是行業(yè)*的高精度設(shè)備安裝式輻射溫度計(jì),通過結(jié)合多年開發(fā)的輻射溫度計(jì)技術(shù)而實(shí)現(xiàn)。
它有助于提高需要高精度溫度測量的領(lǐng)域的過程穩(wěn)定性,例如半導(dǎo)體和FPD制造。

特征

  • 精度高:±0.1°C 和重現(xiàn)性(2σ):0.1°C 實(shí)現(xiàn)
  • 在150 mm的測量距離上實(shí)現(xiàn)Φ8mm的狹窄視野
  • 提供兩種類型的輸出:高度通用的電流輸出和不易受電磁感應(yīng)噪聲影響的光學(xué)數(shù)字輸出。

*這是在某些條件下使用時(shí)的實(shí)際值。

  • 處于真空室內(nèi)時(shí)的基座溫度測量示例
    可以是從真空室的外部通過基座的窗口進(jìn)行溫度測量的示例
  • FPD制造工序中的液晶基板的表面溫度的測定例由于
    為非接觸測定,因此不會(huì)刮傷被測定物的表面。
  • 拋光過程中溫度控制的示例由于它
    是非接觸式測量,因此不會(huì)刮傷被測物體的表面。

注意
為了醉大程度地發(fā)揮本產(chǎn)品的性能,我們將根據(jù)您的應(yīng)用程序的詳細(xì)信息(測量目標(biāo),安裝環(huán)境等)進(jìn)行討論并做出估算。

 

規(guī)范

測量波長

8-14微米

測量溫度范圍

-50至200°C

輸出分辨率

光學(xué)數(shù)字輸出:0.1°C,電流輸出:0.025%FS以下

測量精度*
(光數(shù)字輸出)

±4.0℃(目標(biāo)溫度-50℃)
±0.8℃(目標(biāo)溫度-20℃)
±0.6℃(目標(biāo)溫度0℃)
±0.5℃(目標(biāo)溫度23℃)
±0.4℃(目標(biāo)溫度100℃?)
(中級)點(diǎn)被線性插值并四舍五入到小數(shù)點(diǎn)后的第二個(gè)數(shù)字)

重現(xiàn)性
(光學(xué)數(shù)字輸出)

0.7℃(目標(biāo)溫度-50℃)
0.5℃(目標(biāo)溫度23℃)
0.5℃(目標(biāo)溫度200℃)
(輻射率為1.000時(shí),測量10倍,2σ)

響應(yīng)速度
(光數(shù)字輸出)

光學(xué)數(shù)字輸出:1.4秒或更短(移動(dòng)平均1秒,響應(yīng)率95%)

數(shù)據(jù)采樣周期

0.1秒

數(shù)據(jù)傳輸率

光學(xué)數(shù)字輸出:0.2秒,電流輸出:0.1秒

測量視野

Φ8mm以下/距離150mm(入射光量90%)

輻射率設(shè)定

0.001至0.999可選(出廠默認(rèn)設(shè)置)

工作溫度和濕度范圍

溫度0-55℃,相對濕度35-85%RH(無結(jié)露)

電源供應(yīng)

DC24V±5%

功能

光學(xué)數(shù)字輸出(JIS F05型),電流輸出4至20mA(負(fù)載電阻100Ω,非絕緣)光軸由法蘭調(diào)節(jié)

外形尺寸

55 x 44 x 96 mm,帶電源和電流電纜(標(biāo)準(zhǔn)長度2 m)

大眾

300g以內(nèi)

*條件:環(huán)境溫度為24-29°C(包括溫度計(jì)安裝部件的溫度),濕度為55±20%,輻射率校正設(shè)置為1.000,無干擾。

 日本horiba懸掛式非接觸輻射溫度計(jì)IT-470F-H

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